MULTIBEAM SCANNER – MBS-G4
並列処理による大幅なプロセス高速化
ガルバノスキャナーを使用したマルチビーム加工ソリューションです。スキャンシステムの加工面には、固定ビーム配置が生成されます。ビームの数と配置は、アプリケーションに合わせて調整できます。このアプローチにより、周期的な繰り返し構造を作成するときに加工速度を倍増できます。回折ビームスプリッターに基づいて、レーザーシステムのパワーを最大100以上の部分ビームに分割できます。これにより、多くのUSPプロセスの性能制限を克服し、プロセス効率を大幅に向上できます。応用分野は、レーザードリリング、複数のコンポーネントの並列加工、またはレーザープロセスの一般的な並列化の領域です。
特長
FEATURES
MultiBeamScanner の仕組み
MultiBeamScannerの機能は、回折ビームスプリッターによるレーザービームの分割に基づいています。この光学要素を使用すると、ほぼあらゆる配置を作成できます。この要素は、高いレベルの均質性と全体的な効率性を備えています。ガルバノスキャナーと組み合わせると、処理平面に多数の処理ポイントが生成され、スキャナーによってワークピース上で同時に移動されます。これにより、1つのステップで同一の構造を効率的に並行して製造できます。
基本仕様
BASIC SPECIFICATIONS
スポット分配
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z.B. 2×2, 4×4,…8 x8 など
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DOEによるアドレス可能領域
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最大 5mm x 5mm @ f=100mm |
波長
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– IR (1030-1070nm) |
適切なパルス持続時間
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– ナノ秒 / ピコ秒 / フェムト秒 |
スポット位置誤差
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<3 µm @ f=100mm |
アプリケーション例
APPLICATION EXAMPLE
- 微細加工
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