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MULTIBEAM SCANNER – MBS-G4

並列処理による大幅なプロセス高速化

ガルバノスキャナーを使用したマルチビーム加工ソリューションです。スキャンシステムの加工面には、固定ビーム配置が生成されます。ビームの数と配置は、アプリケーションに合わせて調整できます。このアプローチにより、周期的な繰り返し構造を作成するときに加工速度を倍増できます。回折ビームスプリッターに基づいて、レーザーシステムのパワーを最大100以上の部分ビームに分割できます。これにより、多くのUSPプロセスの性能制限を克服し、プロセス効率を大幅に向上できます。応用分野は、レーザードリリング、複数のコンポーネントの並列加工、またはレーザープロセスの一般的な並列化の領域です。

特長

mbs

MultiBeamScanner の仕組み

MultiBeamScannerの機能は、回折ビームスプリッターによるレーザービームの分割に基づいています。この光学要素を使用すると、ほぼあらゆる配置を作成できます。この要素は、高いレベルの均質性と全体的な効率性を備えています。ガルバノスキャナーと組み合わせると、処理平面に多数の処理ポイントが生成され、スキャナーによってワークピース上で同時に移動されます。これにより、1つのステップで同一の構造を効率的に並行して製造できます。

基本仕様

製品情報
スポット分配
z.B. 2×2, 4×4,…8 x8 など
DOEによるアドレス可能領域

最大 5mm x 5mm @ f=100mm

波長

– IR (1030-1070nm)
– VIS (515nm/532nm)
– UV (343nm-355nm)

適切なパルス持続時間

– ナノ秒 / ピコ秒 / フェムト秒
– 最大電力: 150 W
– 最大パルスエネルギー: 1 mJ @ 1ps

スポット位置誤差

<3 µm @ f=100mm

SWIPE

製品カタログ

※PDF容量は2.44MBです。

アプリケーション例

  • 微細加工

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