レーザースキャニングソリューション 株式会社スキャンソル
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SCANLAB独自のコントロール技術と高性能デジタルエンコーダ搭載ガルバノスキャナの統合により、トラッキングエラー=0の精密スキャニングを実現。高速微細加工時の描画歪を軽減し、マイクロメートルレべルの高速微細加工が可能です。
ガルバノスキャナ走査前に指令信号と実際の動きを比較シミュレーション、最適なパラメータを自動計算します。低速スキャン時にも高加速度を実現し、立ち上がり時間を低減。高速・微細加工時のトラッキングエラーによる描画歪を大きく改善し、微細加工の高速化が可能です。また、各ディレイ値を自動計算・入力するため、ディレイ値の手動入力不要。高精度・高速微細加工をより簡単にお使い頂けます。
左画像）従来機による加工。トラッキングエラーによるコーナー部の丸まりが発生。
右画像）同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。
左画像） 従来機による加工。ミラーが追従できずトラッキングエラーによる円歪みが発生。
右画像） 同速度・同寸法で加工。トラッキングエラーによる歪を低減している。
| 入射ビーム径 | 14mm |
|---|---|
| トラッキングエラー | 0 |
| ジャンプ速度 | <30m/s * |
| 加速度 | 51000 m/s² * |
| * f = 160 mm fθレンズ使用時 |
3D加工用Z軸フォーカスレンズ
GUIマーキングソフトウェア
レーザー・ガルバノ同期コントローラ